自1983年，原临沂地区县以上审计机关经各级人民政府批准相继成立。1983年8月，沂水县在全区率先成立审计局；1984年5月，郯城、费县、临沭等县审计局成立；到1984年末，全区13个县市审计局全部成立。1984年7月，原临沂地区审计处成立，为副县级行政单位，编制15人。1985年11月，审计处改为审计局，为正县级行政单位。1994年撤地设市，改称为临沂市审计局，下有郯城、莒南、平邑、临沭、沂水、沂南、苍山、费县、蒙阴、兰山、罗庄、河东12个县区审计局。目前，临沂市审计局领导班子由11人组成，其中局长1人，副局长4人，纪检组长、总审计师、工会主席、经济责任审计办公室主任各1人，助理调研员2人。
原地区审计处建立之初，内设人事秘书科、工交财贸审计科、财政金融审计科、基建审计科。1986年，增设综合科，工交财贸审计科分为工交审计科和商粮贸审计科。1988年，增设行政事业审计科、外资审计科、内审指导科，人事秘书科分为秘书科和人事教育科。1992年，增设科研法制科，秘书科更名为办公室。1997年，增设农业审计科，内审指导科改名为审计管理科，基建审计科改名为固定资产投资审计科。2002年，增设社保科，撤并综合科、商粮贸审计科、审计管理科，科研法制科改名为综合法制科。至此，局机关内部机构为九科一室。同时，成立领导干部经济责任审计办公室，为副县级全额拨款事业单位，下设四个科室。
1984年，原临沂地区共有审计人员144人。目前，全市审计人员已达363人，其中行政编制244人，事业编制119人。在总人数中，35岁以下的120人，占33%；36岁至45岁的146人，占40%；46岁以上的97人，占27%。专科文化程度的163人，占45%；本科文化程度的111人，占31%；已取得研究生学历33人，占9%。具有初级技术职称的28人，占8%；中级技术职称的178人，占49%；高级技术职称的37人，占10%。36人考取了注册会计师、税务师和律师资格，占10%。党员301人，占83%，团员29人，占8%。 临沂审计20年大事记回放
1984年7月 临沂地区审计处成立，同年底，全区13个县市审计局全部成立；
1985年11月 临沂地区审计处改称审计局；
1990年6月 国家人事部、审计署授予平邑县审计局“全国审计机关先进集体”称号；
1993年2月 临沂地区审计局被山东省审计厅评为“全省审计工作先进单位”；
1998年5月15日 市审计局党组提出“抓班子、带队伍、讲工作、树正气、办实事”的工作思路；
1998年6月至8月 在全国粮食清查审计中，临沂经国家审计署检查验收，被评为“全省唯一完全合格市地”；
1998年11月 山东省人事厅、审计厅给市审计局付道坦同志记“二等功”；
1999年 全市审计机关开展了“审计质量年”活动；
1999年8月14日 国家审计署翟熙贵副审计长来临沂视察工作；
1999年9月21日 临沂市委、市政府以临办发[1999]22号文下发了《关于对领导干部实行任职审计加强监督管理的试行意见》；
2000年 全市审计机关开展了“干部作风建设年”活动；
2000年6月12日至13日 国家审计署李金华审计长乘火车来临沂视察工作；
2000年8月 国家审计署在第17期《审计工作通讯》上，以“临沂市人大常委会跟踪监督同级审查处问题的整改情况”为题，推广了临沂市对审计查出问题认真进行处理和纠正的经验做法；
2001年 全市审计机关开展了“审计回头看”和“我为审计添光彩”活动；
2001年12月10日 临沂市纪委、监察局以临纪[2001]51号文下发了《关于临沂市审计局以人为本依法行政开创全市审计工作新局面的通报》；
2002年 全市审计机关在全国率先开展了“审计创新”活动；
2002年1月8日 国家人事部、审计署授予王恒旭局长“全国审计机关先进工作者”称号；2002年1月22日 山东省人事厅、审计厅授予市审计局“全省审计机关先进集体”称号；
2002年1月 山东省人事厅、审计厅给平邑县审计局徐长江同志记“二等功”；
2002年3月15日 市政府以临政发[2002]17号文给予市审计局记“集体二等功”；
2002年8月27日 “临沂市经济责任审计办公室”成立；
2003年 全市审计机关在全国率先开展了“诚信建设年”活动；
2003年 山东省文明委授予市审计局“省级文明单位”称号；
2003年4月 山东省文明委授予平邑县审计局“省级文明单位”称号；
2004年3月16日 临沂市委、市政府授予市审计局“行风建设十佳单位”称号；
2004年3月 山东省文明委授予市审计局“省级文明机关”称号；
2004年3月 山东省文明委授予市审计局“全省部门和行业作风建设示范窗口单位”称号；
2004年6月28日 中共山东省委授予市审计局“直属机关党委先进基层党组织”称号；
2005年 开展了“保持共产党员先进性教育”、“审计效能建设年”、“信息化建设年”、“审计质量年”活动；
2005年4月 山东省文明委授予市审计局“全省部门和行业作风建设示范窗口单位”称号；
2005年5月 山东省文明委授予市审计局“省级文明单位”称号；
2005年12月 被评为全国审计机关先进集体；
2006年1月 被评为全市“五个好”先进基层党组织；
2006年2月 山东省人事厅、审计厅给市审计局张翼飞同志记“二等功”；
2006年2月 市政府通报表彰市审计局。